<氮氣柜>晶圓存儲氮氣柜的選擇和必要性

晶圓存儲氮氣柜的選擇

技術(shù)參數(shù)方面：

濕度控制：氮氣柜應(yīng)能將濕度精確控制在1%-60%RH范圍內(nèi)，并根據(jù)設(shè)定值自動調(diào)節(jié)氮氣流量。

氮氣純度：氮氣純度需達到99.99%以上，對于一些對環(huán)境要求極為苛刻的高端芯片制造，氮氣純度可能需要達到99.999%甚至更高。

溫度控制：雖然部分氮氣柜不直接調(diào)節(jié)溫度，但環(huán)境溫度應(yīng)保持在22±2℃，相對濕度40%-60%，以確保晶圓品質(zhì)。

密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無法進入。

潔凈度：氮氣柜內(nèi)潔凈度應(yīng)達到ISO Class 5或更高。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)方面：

柜體材質(zhì)：優(yōu)先選擇304不銹鋼材質(zhì)，其潔凈度高、耐用性強，適合在百級或千級無塵室內(nèi)使用。

設(shè)計特點：柜體應(yīng)采用加強結(jié)構(gòu)設(shè)計，承重性能好，內(nèi)部無氮氣死角，確保氮氣均勻分布。

開門方式：根據(jù)存儲需求選擇單開門、雙開門或多開門設(shè)計。

功能與智能化方面：

智能控制系統(tǒng)：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，可設(shè)定濕度、自動切斷氮氣供應(yīng)，節(jié)約氮氣。

多點供氣系統(tǒng)：通過多點供氣，確保柜內(nèi)氮氣分布均勻，避免死點死角。

安全功能：具備氮氣泄漏報警、超壓保護、緊急停機等功能。

其他方面：

靜電防護：氮氣柜應(yīng)具備良好的防靜電設(shè)計，避免靜電對晶圓造成損害。

定制化服務(wù)：根據(jù)存儲物品的尺寸和數(shù)量，選擇可定制隔板設(shè)計和尺寸的氮氣柜。

晶圓存儲氮氣柜的必要性

防止氧化：氮氣是一種惰性氣體，可以起到保護作用，防止芯片與氧氣接觸，從而防止芯片被氧化。如果氮氣濃度不足，就起不到保護作用，影響芯片的存儲質(zhì)量和可靠性。

保持溫度穩(wěn)定：高濃度的氮氣可以降低芯片的存儲溫度，使芯片的存儲環(huán)境更加穩(wěn)定。這有助于延長芯片的使用壽命，提高其可靠性。

減少壓電效應(yīng)：壓電效應(yīng)是指芯片在受到壓力時會產(chǎn)生電壓的現(xiàn)象。高濃度的氮氣可以減少壓電效應(yīng)的發(fā)生，從而穩(wěn)定芯片的性能。

防止污染：氮氣柜能夠提供一個低氧、低濕、無塵、無污染的存儲環(huán)境，防止灰塵顆粒附著在晶圓芯片表面，避免對芯片的光刻、蝕刻等精細加工過程產(chǎn)生影響。