微電子半導(dǎo)體行業(yè)使用的材料Wafer，存放的時候需要防止其氧化變質(zhì)，故需要放在氮氣柜內(nèi)保存。普通的直沖型(不銹鋼)氮氣柜，由于沒有氮氣控制系統(tǒng)及柜內(nèi)環(huán)境的檢測系統(tǒng)，氮氣處于一直消耗的狀態(tài)，使用成本非常高。三清儀器的節(jié)約型氮氣柜，相比普通氮氣柜可節(jié)約80%的氮氣消耗量，也可以在原有的普通(不銹鋼)氮氣柜上升級改造氮氣節(jié)約系統(tǒng)。
節(jié)約型氮氣柜控制系統(tǒng)可檢測柜內(nèi)的濕度環(huán)境或者氧含量值，通過精密傳感器采集的數(shù)據(jù)反饋到微電腦系統(tǒng)，由微電腦系統(tǒng)控制氮氣的供應(yīng)或停止，實現(xiàn)氮氣柜的氮氣消耗閉環(huán)控制。三清儀器(不銹鋼)氮氣柜自帶氮氣節(jié)約系統(tǒng)，在非三清儀器的氮氣柜上，也可以加裝氮氣控制系統(tǒng)，實現(xiàn)節(jié)約氮氣的目的。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
