半導(dǎo)體晶圓氮氣柜的耗電功率低,主要歸功于其高效節(jié)能的設(shè)計和工作原理,以下是主要原因:
智能控制與精準(zhǔn)調(diào)節(jié)
濕度控制技術(shù):半導(dǎo)體晶圓氮氣柜采用智能控制系統(tǒng),能夠根據(jù)設(shè)定的濕度值自動調(diào)節(jié)氮氣的充入和停止。當(dāng)柜內(nèi)濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮氣供應(yīng),僅在濕度超標(biāo)時才重新啟動氮氣供應(yīng)。這種精準(zhǔn)的控制方式避免了氮氣的無謂浪費(fèi),同時也降低了設(shè)備的運(yùn)行功率。
低能耗組件:氮氣柜通常采用低功耗的傳感器、電磁閥等組件,這些組件在運(yùn)行時消耗的電能較少,進(jìn)一步降低了整體功耗。
高效的工作原理
氮氣置換原理:氮氣柜通過充入高純度氮氣,逐漸置換柜內(nèi)的空氣,從而降低濕度和氧含量。這一過程本身不需要高功率的設(shè)備支持,主要依靠氮氣的流動和置換,因此能耗較低。
無持續(xù)加熱或制冷需求:與一些需要持續(xù)加熱或制冷的設(shè)備不同,氮氣柜通過氮氣的置換來維持低濕度環(huán)境,無需額外的加熱或制冷系統(tǒng),從而大大降低了能耗。
節(jié)能設(shè)計與優(yōu)化
密封性能優(yōu)良:氮氣柜的柜體采用高質(zhì)量的密封材料和設(shè)計,確保氮氣不會泄漏,同時防止外界空氣進(jìn)入。良好的密封性減少了氮氣的消耗,也降低了設(shè)備的運(yùn)行頻率,從而降低了功耗。
優(yōu)化的氣路設(shè)計:氮氣柜的氣路設(shè)計合理,能夠確保氮氣均勻分布,快速降低濕度,同時避免了因氣流不均導(dǎo)致的額外能耗。
低功耗的顯示與監(jiān)測系統(tǒng)
LED顯示與低功耗傳感器:氮氣柜通常配備低功耗的LED顯示屏和高精度的溫濕度傳感器,這些設(shè)備在運(yùn)行時消耗的電能較少,同時能夠提供精確的環(huán)境數(shù)據(jù)。
整體節(jié)能效果顯著
減少氮氣浪費(fèi):通過智能控制和優(yōu)化設(shè)計,氮氣柜能夠顯著減少氮氣的使用量,降低氮氣生產(chǎn)所需的能源消耗。
降低冷卻需求:由于氮氣柜運(yùn)行時產(chǎn)生的熱量較少,對潔凈室的冷卻需求也相應(yīng)降低,進(jìn)一步節(jié)約了能源。
綜上所述,半導(dǎo)體晶圓氮氣柜通過智能控制、高效的工作原理和優(yōu)化的設(shè)計,實現(xiàn)了低功耗運(yùn)行,同時能夠為晶圓提供穩(wěn)定的存儲環(huán)境。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |